應(yīng)用實(shí)例丨慕藤光智能成像光學(xué)系統(tǒng)在FMM高世代精細(xì)金屬掩膜版檢測的應(yīng)用
1前言/ Preface掩模版,是微電子制造過程中的圖形轉(zhuǎn)移母版,是平板顯示、半導(dǎo)體、觸控、電路板等行業(yè)生產(chǎn)制造過程中重要的關(guān)鍵材料。掩模版的作用是將設(shè)計(jì)者的電路圖形通過曝光的方式轉(zhuǎn)移到下游行業(yè)的基板或晶圓上,從而實(shí)現(xiàn)批量化生產(chǎn)。表:掩模版下游行業(yè)及應(yīng)用表面板的世代數(shù)是按照產(chǎn)線所應(yīng)用的玻璃基板的尺寸劃分,總體