Preface
全球顯示面板產(chǎn)業(yè)規(guī)模在極速擴大,目前主流的平面顯示技術(shù)主要包括LCD(液晶顯示技術(shù))、OLED(有機發(fā)光二極管顯示技術(shù))、QLED(量子點發(fā)光二極管)、Mini LED(微小發(fā)光二極管顯示技術(shù))以及Micro LED(微米發(fā)光二極管顯示技術(shù))。
顯示平板的制造流程較為復雜,可分為Array制程、Cell制程及Module制程三大階段,復雜的工藝過程中不可避免地產(chǎn)生各種表面缺陷,包括灰塵、臟污、劃痕等,這些缺陷的存在可能對顯示面板的功能和外觀造成影響。
面板邊緣缺陷明暗場檢測
檢測需求
檢測需求:對面板的芯片和基板封裝后進行邊緣缺陷檢測
對焦精度:<1μm
跟焦速度:<30ms
檢測方式:線激光對焦光學系統(tǒng)明暗場檢測
檢測原理
通過環(huán)形光源的明暗場照明方式,明場照明模式,通過垂直均勻光照呈現(xiàn)樣本形態(tài),檢測面板外觀良好;通過暗場照明方式激發(fā)散射光成像,顯著增強樣品微小顆粒與表面細節(jié)對比度,適用于裂紋、劃痕等缺陷。
圖:慕藤光紅外對焦成像解決方案原理
視覺方案
物鏡:5X物鏡
相機:彩色相機
光源:明暗場環(huán)形光源
掃描速度:120mm/s
圖:慕藤光激光自動對焦明暗場解決方案-面板邊緣缺陷檢測應(yīng)用
檢測效果
圖:面板邊緣外弧-暗場檢測測效果圖
圖:面板孔區(qū)裂痕-明場檢測效果圖
Mini LED芯片缺陷檢測
檢測需求
檢測需求:識別并檢測缺陷的Mini LED芯片
樣品:Mini LED芯片
離焦距離:100-200um
對焦時間:1-1.5s
檢測原理
慕藤光圖像對焦檢測是建立在圖像AI算法模式上的調(diào)焦方法,能夠?qū)︾R頭與傳感器采集的圖像進行實時分析和處理,進而控制運動軸進行移動完成聚焦,覆蓋±150um至±1mm大搜索范圍,實現(xiàn)大范圍內(nèi)的快速對焦檢測。
圖:慕藤光圖像對焦檢測原理
視覺方案
相機:CameraLink工業(yè)相機
鏡頭:MF200-C-S
物鏡:MA-10F (20X)
圖像對焦傳感器:MIAF-500
光源:MV-IW
圖像格式:2432*2048
檢測效果
圖:Mini LED晶圓缺陷芯片檢測
OLED柔性面板均勻度修復檢測
檢測需求
OLED柔性面板生產(chǎn)中,屏幕高度不一致時需要對焦
檢測原理
針對面板屏幕高度存在差異的情況,依據(jù)圖像對焦原理中對物體距離建模及成像焦點計算機制,慕藤光圖像對焦傳感器MIAF-500可在1-2s內(nèi)對傳感器采集的圖像進行實時分析,快速響應(yīng),解決±150um范圍的精準調(diào)節(jié)對焦,進而精準檢測屏幕顯示均勻度。
視覺方案
圖:OLED面板均勻度修復-慕藤光圖像對焦視覺方案
檢測效果
圖:OLED柔性面板均勻度檢測圖
產(chǎn)品參數(shù)
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